①微型化，集成度高

②占地面积（71.1L*44.4W*43.0H,单位：cm）

③稳定，恒定压力，响应速度快

④磁悬浮泵供液、流量大、洁净度高

⑤全机台防腐蚀化设计，可输送酸、碱、有机药液

①尾气去除效率>95%

②占地面积（280L*120W*230H，单位：cm）

③稳定的风量控制（波动<3%）

④定制化排水模式，环保节水

⑤机台全局防腐蚀化设计

①主动增压，弥补厂务能力不足，适合复杂管路改造

②占地面积（151L*111W*178.5H，单位：cm）

③需求压力设定值±3%以内的闭环压力实时控制

④定制化服务，满足4~18腔设备定制

⑤机台全局防腐蚀化设计

①抗腐蚀结构设计

②体积小，集成度高（151L*111W*178.5H，单位：cm）

③宽流量范围：5~40LPM

④低比阻抗效果：0.025~2MΩ·cm