FFU（风机过滤单元）
应用于12英寸半导体湿法制程设备，可定制化
①抗腐蚀结构设计
②过滤器材料： 100%PTFE
③去除效率： 99.99995%@MPPS@0.1 ㎛
④风量面内均一性<15%
⑤主设备交互通信，主动控制+被动控制
盛奕科技凭借先进的自主研发技术和丰富的产品线，已发展成为具有一定
竞争力的半导体领域专用设备及核心部件供应商。
①抗腐蚀结构设计
②过滤器材料： 100%PTFE
③去除效率： 99.99995%@MPPS@0.1 ㎛
④风量面内均一性<15%
⑤主设备交互通信，主动控制+被动控制
①抗腐蚀结构设计
②过滤器材料： 增强性活性炭、离子交换树脂
③去除效率：初期＞90%
④使用寿命长：12个月
⑤功能可集成，同时去除酸碱有机气体
①转子运行无任何接触、无磨损，无颗粒产生
②微型化、集成度高
③抗腐蚀结构设计,可输送酸、碱、有机药液
④耐高温（90℃）、使用寿命长
⑤流量大、转速高
产品型号：SHM-075
转速0~9000rpm，最大流量75L/min
产品型号：SHM-140
最大转速0~8000rpm，最大流量140L/min