为半导体生产使用的超纯水，添加二氧化碳气体，降低纯水电导率
①抗腐蚀结构设计
②体积小，集成度高（36.5L*33W*27H，单位：cm）
③宽流量范围：5~40LPM
④低比阻抗效果：0.08~2MΩ·cm
