为主设备提供额外风量和压力，对单chamber压力精准控制
①主动增压，弥补厂务能力不足，适合复杂管路改造
②占地面积（151L*111W*178.5H，单位：cm）
③需求压力设定值±3%以内的闭环压力实时控制
④定制化服务，满足4~18腔设备定制
⑤机台全局防腐蚀化设计
