为主设备输送药液,可实现压力-流量闭环精准控制
①转子运行无任何接触、无磨损,无颗粒产生
②微型化、集成度高
③抗腐蚀结构设计,可输送酸、碱、有机药液
④耐高温(90℃)、使用寿命长
⑤流量大、转速高
产品型号:SHM-075
转速0~9000rpm,最大流量75L/min
产品型号:SHM-140
最大转速0~8000rpm,最大流量140L/min
目前该产品已成熟应用于多种设备,如湿法清洗单片机、湿法槽式清洗机、化学机械研磨液供给装置、电镀设备、化学药液供液装置、化镀设备等。